| 專利名稱: | 一種制備納米器件的方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 2013104917693 |
| 申請(qǐng)日期: | 2013-10-18 |
| 專利號(hào): | 201310491769.3 |
| 第一發(fā)明人: | 龍世兵;孫鵬霄;劉琦;呂杭炳;劉明;張美蕓;王國(guó)明;李陽;王明;許曉欣;劉若愚;李叢飛;劉紅濤 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號(hào): | 201310491769.3 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 研究生5,微電子重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 |
科研產(chǎn)出