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課題組基于先導(dǎo)中心8英寸CMOS工藝線，主導(dǎo)開(kāi)發(fā)了國(guó)內(nèi)首個(gè)面向硅基光電子技術(shù)研究和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的，具有完整硅光工藝流片能力的8英寸硅光子平臺(tái)。該平臺(tái)已開(kāi)發(fā)了成套的硅光子工藝庫(kù)和器件庫(kù)，制定了硅光子平臺(tái)的設(shè)計(jì)規(guī)則和工藝規(guī)范，形成了平臺(tái)的PDK ，并與主流光子集成設(shè)計(jì)軟件Synopsys OptoDesigner和Luceda Photonics IPKISS實(shí)現(xiàn)了集成。截止到2019年4月，微電子所硅光子平臺(tái)...
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光子器件與集成技術(shù)課題組更多+
課題組基于先導(dǎo)中心8英寸CMOS工藝線，主導(dǎo)開(kāi)發(fā)了國(guó)內(nèi)首個(gè)面向硅基光電子技術(shù)研究和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的，具有完整硅光工藝流片能力的8英寸硅光子平臺(tái)。該平臺(tái)已開(kāi)發(fā)了成套的硅光子工藝庫(kù)和器件庫(kù)，制定了硅光子平臺(tái)的設(shè)計(jì)規(guī)則和工藝規(guī)范，形成了平臺(tái)的PDK ，并與主流光子集成設(shè)計(jì)軟件Synopsys OptoDesigner和Luceda Photonics IPKISS實(shí)現(xiàn)了集成。截止到2019年4月，微電子所硅光子平臺(tái)...